韩国耐神大面积干涉传感器nXI-2采用干涉测量技术，这是一种用于校准精密测量设备并精确测量大面积的技术。

在生成大量数据的同时，大面积干涉仪nXI-2的测量速度是传统干涉测量法的十倍，并提供可靠的数据，从而提供各种信息，以提高工艺效率和生产质量。

由于大面积干涉仪nXI-2可以快速测量大面积，因此非常适合大规模生产线，而且其先进的测量技术确保了测量的高可靠性。

大面积干涉仪nXI-2测量台阶、厚度和粗糙度，因此可用于测量微米或更小的点，例如半导体的微观结构、凸起和粗糙度，以及柱间隔、表面结构和面板中异物的突出物等。此外，它可以分离薄膜，因此在测量具有多层结构的产品时表现出色。

大面积干涉仪nXI-2可测量最大的视野范围FOV为100mm×100mm ，因此用于测量各种产品。