韩国耐神白光干涉传感器nXI-5采用干涉测量技术，这是一种用于校准精密测量设备并精确测量小面积的技术。因此，它提供了可靠的数据，以提高流程效率并有效提高生产质量。

此外，这种更快的测量解决方案非常适合大规模生产线，其先进的测量技术确保了测量的高可靠性。

白光干涉传感器nXI-5测量台阶、厚度和粗糙度，因此可用于测量1微米或者更小，例如半导体的微结构、凸起和粗糙度，以及面板中的 Column Spacer 、表面结构和因异物引起的凸起等。此外，它还可以分离薄膜和因此，在测量多层结构的产品方面表现出色。

根据客户需求，既可以作为白光干涉仪单机使用也可以作为传感器模组配套于检测设备上。